TECHNOLOGY 技術情報

TECHNICAL PAPER

ニッタ・ハース株式会社の研究開発や独自の研磨技術に関する最新情報、また学会で発表された資料をご紹介します。

2018年度
シリコンウェーハ研磨におけるスラリー中のアルカリ種と研磨性能との関係調査
複数種の水溶性高分子を用いた低欠陥・高平滑性シリコンウェーハ研磨用スラリーの開発