TECHNOLOGY 技術情報

TECHNICAL PAPER

ニッタ・ハース株式会社の研究開発や独自の研磨技術に関する最新情報、また学会で発表された資料をご紹介します。

2017年度
シリカスラリーの安定性がディフェクト性能に与える影響
タンタル酸リチウム(LiTaO3)基板でのCMPスラリーのpHと砥粒径の効果