TECHNOLOGY 技術情報

TECHNICAL PAPER

ニッタ・ハース株式会社の研究開発や独自の研磨技術に関する最新情報、また学会で発表された資料をご紹介します。

2012年度
2x/1xnm 時代のCMP パッド ~Dow/ニッタ・ハースでの取り組み~