TECHNOLOGY 技術情報

TECHNICAL PAPER

ニッタ・ハース株式会社の研究開発や独自の研磨技術に関する最新情報、また学会で発表された資料をご紹介します。

2011年度
研磨パッドおよび砥粒のコンタクトエリアを考慮した研磨メカニズムの数量的考察
先端デバイス向け研磨パッド