ニッタ・ハース株式会社の研究開発や独自の研磨技術に関する最新情報、また学会で発表された資料をご紹介します。

2018年度

シリコンウェーハ研磨におけるスラリー中のアルカリ種と研磨性能との関係調査

複数種の水溶性高分子を用いた低欠陥・高平滑性シリコンウェーハ研磨用スラリーの開発

2017年度

シリカスラリーの安定性がディフェクト性能に与える影響

タンタル酸リチウム(LiTaO3)基板でのCMPスラリーのpHと砥粒径の効果