PRODUCTS 製品情報

シリコンウェーハ用

シリコンウェーハ用の研磨パッドおよびスラリーは、厳しい技術革新の続くシリコンウェーハ業界に向けて製造・販売される製品です。 一次研磨、二次研磨では高平坦性、低欠陥性、高生産性などの優れた研磨性能を安定して実現でき、ファイナル研磨ではスクラッチフリー、ヘイズフリーなど無欠陥な仕上げ表面を得ることができます。

シリコンウェーハ用研磨パッド

SUBA™シリーズ

SUBA™は不織布ベースのパッドで、主にシリコンウェーハの一次研磨・二次研磨用パッドです。高研磨レート、高平坦性、低欠陥性といった特徴があります。

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シリコンウェーハ用

MH™シリーズ / EXTERION™シリーズ

MH™パッドは優れた発泡コントロール技術から生まれたポリウレタンパッドで、主にシリコンウェーハの一次研磨・二次研磨用パッドです。200mmや300mmウェーハにおける高平坦化研磨に対応いたします。
EXTERION™は、MH™パッドの次世代品として位置づけられ、最先端ウェーハ製造工程など様々なアプリケーションでの品質向上に寄与します。

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シリコンウェーハ用

Supreme™シリーズ

Supreme™シリーズは、主にシリコンウェーハの仕上げ工程における最終の傷取りやパーティクルの除去等を目的とした仕上げ用研磨パッドです。

シリコンウェーハ用研磨スラリー

Nanopure™シリーズ

厳しい技術革新の続くシリコンウェーハの製造に用いられる、一次研磨・仕上げ研磨用のスラリーです。高平坦性、低欠陥、高生産性などの優れた研磨性能を安定して発揮いたします。

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シリコンウェーハ用

ワーク保持材

テンプレート・アッセンブリー

T/Aはシリコンウェーハをワックスレスで研磨機のキャリアプレートに保持するための製品です。ウェーハや基板の平坦化向上、自動化による生産性の向上が見込まれます。サイズ、材質を各種取り揃え、お客様のご要望に応じた製品をお届けいたします。