PRODUCTS 製品情報

原子レベルの精度を実現し、業界標準を打ち立てる

ニッタ・ハース株式会社は、ハイクォリティな研磨パッド、スラリーはもとより、バッキング材、コンディショナーなど数々のCMP用消耗資材を取りそろえることで、新世代デバイスのCMPが最高品質で行えるシステムを提供しています。

とりわけ、特殊な発泡技術とシリコンウェーハで培った技術の融合により優れた研磨性能を発揮する研磨パッドは、スラリーとの相乗効果もあり、極めて優れたプラナリティ、均一性、スクラッチフリーの実現に成功しています。

それにより、ユーザーの要望に対して最高のパフォーマンスを提供しています。

イメージ画像
  • シリコンウェーハ用製品詳細へ
  • 化合物ウェーハ用製品詳細へ
  • ガラス基板用製品詳細へ
  • 半導体デバイス用製品詳細へ