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2015.11.30ICPT2015 発表論文を技術情報ページにアップしました

2015年9月30日~10月2日に開催されましたICPT2015(International Conference on Planarization/CMP Technology)での発表論文「The Elastic Impact of Polishing Pad for Sapphire Polishing」(サファイア研磨における研磨パッド弾性効果)を技術情報ページにアップいたしました。

どうぞご覧ください。 http://www.nittahaas.com/technical/542/

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